[发明专利]处理曝光图形数据的方法、曝光控制单元和直写式曝光机有效

专利信息
申请号: 202010188495.0 申请日: 2020-03-17
公开(公告)号: CN111208713B 公开(公告)日: 2022-08-16
发明(设计)人: 张玉喆 申请(专利权)人: 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 代理人: 贾玉姣
地址: 230088 安徽省合肥市高新区*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提出了一种处理曝光图形数据的方法、曝光控制单元和直写式曝光机,该方法包括:响应于一段数据读取完成,将读取数据的地址指针定位到下一段数据所需重复数据的地址处的重定位步骤;根据所述下一段数据所需重复数据的地址和下一段数据的地址,从所述第一存储单元中读取所需重复数据和所述下一段数据的读取步骤;重复所述重定位步骤和所述读取步骤,直至获得所述曝光图形数据的每段数据。本发明的处理曝光图形数据的方法,通过增加第一存储单元存储曝光数据,在数据处理时,从第一存储单元直接读取所需数据,无需再次发送,既节省了数据的传输带宽,也节省了传输时间,从而提高了曝光机的产能。
搜索关键词: 处理 曝光 图形 数据 方法 控制 单元 直写式
【主权项】:
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