[发明专利]基于双玻孔阵的滤光膜系和近红外光谱芯片及其制备方法在审
| 申请号： | 202010189868.6 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113495310A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 宋晨智;蔡红星;姚治海;石晶;任玉;端木彦旭;全王昕瑞;韩颖 | 申请（专利权）人： | 吉林求是光谱数据科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G01J5/08;G01J5/00;G01J3/28;G01J3/12;C23C14/18;C23C14/24;C23C14/58 |
| 代理公司： | 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204 | 代理人： | 仲伟清 |
| 地址： | 130000 吉林省长春市净*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开基于双玻孔阵的滤光膜系和近红外光谱芯片及其制备方法，包括采用二氧化硅介质的下层陪镀片、镀在下层陪镀片上的银膜以及镀在银膜上层的覆盖片，所述覆盖片采用二氧化硅介质，所述银膜刻蚀有孔阵。利用表面等离激元极化振子(SPP)的原理制成的亚波长孔阵结构具有天然的耐腐蚀，调制连续，可应用于近红外波段等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 双玻孔阵 滤光 红外 光谱 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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