[发明专利]一种用于ECR离子源的高压隔离波导有效
申请号: | 202010190409.X | 申请日: | 2020-03-18 |
公开(公告)号: | CN111416185B | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 孙良亭;刘玉国;武启;刘建立 | 申请(专利权)人: | 中国科学院近代物理研究所 |
主分类号: | H01P1/36 | 分类号: | H01P1/36 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 王胥慧 |
地址: | 730013 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于ECR离子源的高压隔离波导,其特征在于,包括高压绝缘块、地端波导、高压端波导和阻抗匹配塞块;所述高压绝缘块为环形管状结构,所述高压绝缘块内纵向插设有圆形绝缘薄片,所述圆形绝缘薄片的一侧通过第一圆形法兰连接所述地端波导的一侧,所述地端波导的另一侧用于连接微波系统;所述第一圆形法兰内还间隔开设有两个环形微波扼流槽;所述圆形绝缘薄片的另一侧通过第二圆形法兰3连接所述高压端波导的一侧,所述高压端波导的另一侧用于连接离子源源体,所述高压端波导内还设置有用于匹配所述高压绝缘块波导阻抗突变的所述阻抗匹配塞块,本发明可以广泛应用于隔离波导中。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 ecr 离子源 高压 隔离 波导 | ||
【主权项】:
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