[发明专利]一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架在审
| 申请号： | 202010190657.4 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111334768A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 吴疆;冯斌;李东滨;金浩;王德苗 | 申请（专利权）人： | 苏州求是真空电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 张倩倩 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其包括主框架和至少两组横杆组件；主框架包括至少两根相互平行的竖杆和至少两根相互平行的横杆，各横杆两端分别固连两竖杆；各横杆组件包括平行于主框架横杆的装片横杆，装片横杆两端分别可拆卸连接主框架的两根横杆；装片横杆上沿其长度方向至少设有一装片卡槽。相邻装片横杆的卡槽之间可形成装片卡位，掩膜板或样品的一个对端分别卡入两相邻装片横杆的卡槽之间，即实现装片。装片横杆可拆卸连接主框架横杆，使得装片横杆的高度位置可调，从而可适应不同高度尺寸的掩膜板或样品的装夹镀膜膜，提高镀膜效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 磁控溅射 镀膜 立式 装片架 | ||
【主权项】：
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