[发明专利]形状测定装置及形状测定方法在审
| 申请号： | 202010190997.7 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111702604A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 高娜;宫武勤 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B19/00 | 分类号： | B24B19/00;B24B47/12;B24B47/20;B24B49/02;B24B49/12;B24B51/00;G01B11/02;G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于减少外部温度变化的影响从而实现高精度的形状测定。本发明的形状测定装置(40)使沿扫描方向排列设置的三个测头(41)沿扫描方向进行扫描从而测量测定对象物(W)的表面形状，其中，三个测头(41)被绝热部件(43)包围在内。通过在三个测头(41)被绝热材料(43)包围在内的状态下进行测定，即使在各个测头(41)的温度特性互不相同的情况下，也能够抑制外部温度变化的影响，从而能够确保高精度的形状测定。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 测定 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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