[发明专利]一种择优取向的钽靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202010191434.X | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111519147B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 陈燕飞;赖华生;张金祥;文小强;袁德林;王玉香;郭春平;普建;刘雯雯;周有池 | 申请（专利权）人： | 赣州有色冶金研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/18 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘潇 |
| 地址： | 341000 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明涉及靶材制备技术领域，提供了一种择优取向的钽靶材及其制备方法。本发明通过扭转变形控制钽锭内部织构取向，通过扭转使钽锭内产生沿直径方向的切向变形，进而使钽锭内部织构方向发生定向改变，从而达到控制材料织构的目的，本发明通过扭转变形能够提高靶材组织的均匀性、降低靶材的晶粒尺寸、提高（111）、（100）织构占优的组分比例；并且本发明提供的制备方法无需对钽锭进行锻打和轧制，能够减少混入靶材内部的杂质含量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 择优取向 钽靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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