[发明专利]悬空石墨烯场效应管声学传感器有效
| 申请号： | 202010192199.8 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111498794B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 王程;赵晓楠 | 申请（专利权）人： | 天津师范大学 |
| 主分类号： | B81B7/04 | 分类号： | B81B7/04;G01H11/06 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 张书涛 |
| 地址： | 300380 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种悬空石墨烯场效应管声学传感器，石墨烯膜层覆盖于栅结构的表面，并将多个凹槽覆盖。因此，每一凹槽和石墨烯膜层均构成一个第一空腔。由于石墨烯膜层厚度比较薄，因此可以受到机械声波的冲击后会产生振动。尤其在第一空腔处的石墨烯膜层更容易产生振动。石墨烯膜层悬空的部分在受到声波压力的激励时与基底之间的距离会发生相应变化。石墨烯膜层、基底可以等效为栅极电容的两个电极，第二容腔真空构成电容电介质。因此石墨烯膜层和基底之间的距离发生变化时，栅极电容的电容值就会发生变化。所以石墨烯膜层可以具有感知声波和转化电信号双重功能。因此悬空石墨烯场效应管声学传感器结构简单，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 悬空 石墨 场效应 声学 传感器 | ||
【主权项】：
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