[发明专利]一种真空蒸镀设备在审
| 申请号： | 202010192222.3 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111118454A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 宋风宽;周昌峰 | 申请（专利权）人： | 郑州科探仪器设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 王学芝 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市高新技术*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空蒸镀设备，包括壳体，壳体上设置真空腔体底座和真空腔体罩，真空腔体底座和真空腔体罩围成真空腔体，真空腔体座上设有安装架，安装架上设有蒸镀台，真空腔体座上设有能够转动的遮挡板，真空腔体座上设置有转轴，遮挡板包括上下贴合设置的上挡板和下挡板，各挡板转动均转动安装于转轴上且各挡板与转轴之间依靠摩擦力能够随转轴同步转动，安装架上设置有与各挡板限位挡止配合的限位结构，上、下挡板具有转动后相互配合对蒸镀坩埚进行遮挡的遮挡位，上、下挡板还具有反向转动后避开下方蒸镀坩埚的让开位。与现有技术相比，上述结构的蒸镀设备可以减小真空腔体的体积，进而减小整个蒸镀设备的体积与重量，节省了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 设备 | ||
【主权项】：
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