[发明专利]一种钛硅钼合金靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202010194098.4 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN111304610A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 姜海;唐培新;吕晓明;姜慧;王瑞刚;许凤志 | 申请（专利权）人： | 河北宏靶科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C22C30/00;C22C14/00;C22C1/04;B22F3/10;B22F9/04;B22F3/04;B22F3/15 |
| 代理公司： | 北京中强智尚知识产权代理有限公司 11448 | 代理人： | 黄耀威 |
| 地址： | 072750 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钛硅钼合金靶材及其制备方法，其制备方法包括：将硅粉和钼粉在真空或高纯氩气保护下混合；将混合后的钼‑硅粉末烧结，获得钼硅合金块；将所述钼硅合金块破碎成钼硅合金粉；将钛粉与所述钼硅合金粉在真空或高纯氩气保护下混合；将混合均匀的所述钛粉与所述钼硅合金粉进行冷等静压压制，获得钛硅钼合金坯料；将所述钛硅钼合金坯料装入包套中，进行脱气处理；将经脱气处理的包套封焊后，通过热等静压烧结获得合金锭坯；将压制后的所述合金锭坯依次进行机加工和清洗，获得钛硅钼合金靶材。本发明制得的钛硅钼合金靶材具有致密度高、无气孔和偏析，组织均匀，晶粒细小，规格尺寸多等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钛硅钼 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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