[发明专利]一种用于在高温下抗氧化的Cr/CrN/CrAlN梯度涂层及制备方法有效

专利信息
申请号: 202010194388.9 申请日: 2020-03-19
公开(公告)号: CN111471969B 公开(公告)日: 2021-07-02
发明(设计)人: 杨文晟;郭汉杰;陈胜吉 申请(专利权)人: 北京科技大学;明志科技大学
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/02;C23C14/14;C23C14/06
代理公司: 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 代理人: 张仲波
地址: 100083*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种用于在高温下抗氧化的Cr/CrN/CrAlN梯度涂层及制备方法,属于表面工程技术。在9‑12%Cr耐热钢表面沉积Cr/CrN/CrAlN涂层,采用Cr靶、Al靶直流反应共溅的方式获得Cr/CrN/CrAlN涂层,基片温度为150‑200℃,Ar和N2采用微电脑控制,其流量分别为5‑7SCCM(标准立方米每分钟)和6‑8SCCM,工作气压为5‑10mtorr。为提高涂层和基体的结合力,选用Cr底层,并施加100‑150V的基体负偏压。所获得的涂层底层为Cr层,中间层为CrN层,外层为CrAlN层。涂层在600‑800℃空气中氧化后的主要产物为Al2O3。高温氧化实验表明Cr/CrN/CrAlN涂层具有很好的高温抗氧化能力。应用本发明可显著提高耐热钢的高温抗氧化能力。
搜索关键词: 一种 用于 高温 氧化 cr crn craln 梯度 涂层 制备 方法
【主权项】:
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