[发明专利]硅芯炉控制系统及方法有效
申请号: | 202010194425.6 | 申请日: | 2020-03-19 |
公开(公告)号: | CN111429508B | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 王喆;郝晓琼;尹东林;宗冰;刘江;白银;崔圳 | 申请(专利权)人: | 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
主分类号: | G06T7/70 | 分类号: | G06T7/70;G06T7/60;G06T7/62;G06T7/00;G05B19/05;C30B28/04;C30B29/06 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 李莎 |
地址: | 810000 青海省西*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本发明实施例提出一种硅芯炉控制系统及方法,涉及多晶硅生产领域。该系统包括摄像装置、图像处理装置及控制柜,摄像装置与图像处理装置电连接,图像处理装置与控制柜通信连接,摄像装置从硅芯炉的视镜位置采集硅芯炉内的硅芯熔接部的视频图像,并将视频图像传输至图像处理装置,图像处理装置根据视频图像获取硅芯熔接部的位置、高度、第一表面的直径和第二表面的直径,并将位置、高度、第一表面的直径和第二表面的直径传输至控制柜,控制柜在位置、高度、第一表面的直径和第二表面的直径中的至少一个出现异常时,调节硅芯炉对应的控制参数,以控制硅芯炉正常运行,有效提高了硅芯炉的生产效率,降低人工误操作的风险。 | ||
搜索关键词: | 硅芯炉 控制系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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