[发明专利]微流体致动器的制造方法在审
| 申请号： | 202010194590.1 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113493185A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;戴贤忠;方麟辉;韩永隆;黄启峰;谢锦文;林宗义 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 喻学兵 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微流体致动器的制造方法，包含以下步骤：提供一基板；沉积一第一保护层于该基板的一第一表面上；沉积一致动区于该第一保护层上，该致动区更包含：依序沉积一下电极层、沉积一压电致动层以及沉积一上电极层；以及通过光刻干式蚀刻部分该第一保护层，产出至少一第一保护层流道；通过湿式蚀刻部分该基板的一主结构，产出一腔体以及产出一第一多晶硅流道区，但未蚀刻该主结构的一氧化层中段区域；使用反应离子蚀刻部分该基板的一第二表面，产出至少一基板硅流道；以及使用干式蚀刻部分一二氧化硅层，产出至少一二氧化硅流道。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 致动器 制造 方法 | ||
【主权项】：
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