[发明专利]一种基于物理气相输送法晶体制备用多籽晶坩埚装置在审
| 申请号： | 202010196401.4 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN111235631A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 赵丽丽;张胜涛;范国峰;袁文博 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/02 | 分类号： | C30B23/02 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 赵君 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种基于物理气相输送法晶体制备用多籽晶坩埚装置，它属于物理气相传输法生长单晶的技术领域。本发明包括坩埚本体，所述的坩埚本体上端设置有上盖，所述的坩埚本体内底部铺设有晶体生长源料，所述的晶体生长源料顶端放置有导流结构，所述的导流结构的上端设置有多个卡槽，所述的卡槽固定连接套筒结构的底部，所述的套筒结构的顶端设置有套筒盖，籽晶固定于所述的套筒结构的上端位置。本发明采用导流结构，将在一个坩埚本体内部放置了多个套筒结构，每个套筒结构上方分别放置了籽晶，坩埚本体在制备晶体时可以通过旋转机构绕轴旋转，保证了温场分布的均一性，实现了一个坩埚本体内多个籽晶上同时长晶，成倍提高了制备速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 物理 输送 晶体 制备 籽晶 坩埚 装置 | ||
【主权项】：
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