[发明专利]一种垂直腔面发射激光器在审
| 申请号： | 202010199273.9 | 申请日： | 2020-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN111370996A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 王璐;王珈 | 申请（专利权）人： | 北京嘉圣光通科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/32;H01S5/323 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 刘亚飞 |
| 地址： | 100000 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种垂直腔面发射激光器，包括：衬底、在衬底的正面依次外延生长的缓冲层、第一分布式布拉格反射镜、谐振腔、电绝缘介质掩膜层、p型电极、第二分布式布拉格反射镜；以及，在衬底的背面生长的电极；谐振腔包括：位于第一分布式布拉格反射镜上的下限制层、位于下限制层上的有源层、生长在N型离子注入层和有源层上的上限制层、生长在上限制层上的电极接触层、位于蚀刻的下限制层和有源层两侧的P型离子注入层、以及，位于P型离子注入层上、生长在蚀刻的有源层两侧的N型离子注入层，电绝缘介质掩膜层外延生长在电极接触层上。可以提高垂直腔面发射激光器的发光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 发射 激光器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京嘉圣光通科技有限公司，未经北京嘉圣光通科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010199273.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
