[发明专利]一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印方法有效
申请号: | 202010200239.9 | 申请日: | 2020-03-20 |
公开(公告)号: | CN111394713B | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 谢颖熙;张伯乐;陆龙生;汤勇 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C16/26;B33Y10/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 | 代理人: | 周新楣 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印方法,包括以下步骤,S1,加热喷头;S2,惰性气体和还原气体分别通过喷头喷射催化剂衬底;S3,驱动装置驱动喷头相对催化剂衬底进行三维移动,惰性气体、还原气体和反应气体分别通过喷头喷射催化剂衬底。通过加热喷头成为高温的喷头,还原气体和反应气体通过高温的喷头后会成为高温还原气体和高温反应气体,无需为催化剂衬底加热即可提供良好的反应条件。高温反应气体在还原气体作用下裂解,生成单个纳米材料“像素点”。随着驱动装置分别驱动喷头和催化剂衬底,便可在催化剂衬底上快速打印出所需图案的纳米材料产品,提升了纳米材料的均匀性和可操作性,可以实现定制化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 化学 沉积 纳米 材料 打印 方法 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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