[发明专利]一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印机

摘要

本发明涉及一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印机，包括催化剂衬底、喷头和驱动装置，喷头设有加热装置，喷头一端通入有反应气体、还原气体和惰性气体，喷头另一端与催化剂衬底对应设置，驱动装置设于喷头一侧，驱动喷头和催化剂衬底相对三维移动。喷头加热后成为高温的喷头。还原气体通过高温的喷头后成为高温还原气体，对催化剂衬底进行清洗，能够更有效去除催化剂衬底表面残余的氧化物杂质。高温反应气体喷射在催化剂衬底上，在催化剂衬底上发生还原反应生成纳米材料。通过驱动装置的驱动，使喷头和催化剂衬底按照设定轨迹相对三维移动，可以得到所需图案的纳米材料产品，提升了纳米材料打印的可操作性。