[发明专利]一种离轴非球面碳化硅轻量化反射镜的制备方法在审

专利信息
申请号: 202010205934.4 申请日: 2020-03-23
公开(公告)号: CN111390653A 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 张学军;伊力奇;乔冠博 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: B24B1/00 分类号: B24B1/00;G02B5/10
代理公司: 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 代理人: 宁晓丹
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 一种离轴非球面碳化硅轻量化反射镜的制备方法涉及反射镜加工技术领域,解决了离轴非球面碳化硅轻量化反射镜制作效率低的问题,制备方法包括制作轻量化碳化硅镜坯,所述轻量化碳化硅镜坯包括碳化硅镜板和连接碳化硅镜板背面的碳化硅轻量化结构,所述碳化硅镜板正面为初始离轴非球面;对初始离轴非球面进行子孔径加工得到迭代初始离轴非球面;采用预应力加工技术对迭代初始离轴非球面进行抛光得到最终离轴非球面,一种离轴非球面轻量化碳化硅反射镜制作完成。通过本发明制备方法需要去除的材料极少,抛光速度就会成倍加快,能够解决离轴非球面碳化硅轻量化反射镜不能大批量走向应用的难题。
搜索关键词: 一种 离轴非 球面 碳化硅 量化 反射 制备 方法
【主权项】:
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