[发明专利]膜层厚度控制方法、装置、设备及计算机可读存储介质在审
| 申请号： | 202010205938.2 | 申请日： | 2020-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN111351442A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 陶利松 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/55;G01N21/59 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 张志江 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种膜层厚度控制方法、装置、设备及计算机读存储介质，所述控制方法步骤包括：设定膜层的测试厚度，依据所述测试厚度进行镀膜，获得待测膜层；对所述待测膜层进行检测，获得所述待测膜层的检测厚度；将所述测试厚度和所述检测厚度进行对比，获得比例因子；依据所述比例因子确定镀膜时设定的膜厚数值。本发明能够有效避免接触式测量，进而避免待测薄膜样品表面损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 厚度 控制 方法 装置 设备 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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