[发明专利]门开启器和一同提供的衬底处理设备

摘要

本公开涉及一种打开含有衬底的匣盒的门的门开启器，所述开启器具有第一壁和第二壁，所述第一壁与所述匣盒接合并且具有第一开口以转移所述匣盒的所述门和衬底，所述第二壁与所述第一壁相对并且具有第二开口以转移衬底。所述门开启器可具有封闭装置，所述封闭装置抓住所述匣盒的所述门并具有第一侧和第二侧且可在形成于所述第一壁与第二壁之间的室中移动。所述开启器可具有第一致动器以使所述封闭装置在第一方向上从第一闭合位置移动到第二闭合位置以及从所述第二闭合位置移动到所述第一闭合位置与第二闭合位置之间的输送位置，在所述第一闭合位置，所述第一侧抵靠着所述第一壁闭合，在所述第二闭合位置，所述第二侧抵靠着所述第二壁闭合。