[发明专利]窄长类米级大口径光学元件高精度面形加工方法有效
申请号: | 202010207033.9 | 申请日: | 2020-03-23 |
公开(公告)号: | CN111360638B | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
发明(设计)人: | 曹俊;徐学科;顿爱欢;嵇文超 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司 |
主分类号: | B24B13/00 | 分类号: | B24B13/00;B24B13/005 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种窄长类大口径光学元件高精度面形加工方法,本发明通过拼盘抛光和规整技术的结合,可以有效地提高窄长类米级大口径光学元件反射面的条纹规则程度和面形平整度,能够制造出高精度、PV小于λ/2的窄长类米级大口径光学元件。 | ||
搜索关键词: | 窄长类米级大 口径 光学 元件 高精度 加工 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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