[发明专利]缓冲机构、立式炉及其工艺门在审
| 申请号： | 202010208397.9 | 申请日： | 2020-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN111397358A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 宋新丰 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F27B1/10 | 分类号： | F27B1/10;F27D1/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种缓冲机构、立式炉及其工艺门。该缓冲机构设置于立式炉工艺门的支撑臂与密封盘之间，其包括安装板及缓冲器；安装板设置于支撑臂上；多个缓冲器均匀分布于安装板上；缓冲器包括导杆、导向组件及弹性组件；导杆的顶端与密封盘连接，导杆的底端通过导向组件穿设于安装板上，并且导杆能相对于安装板沿竖直方向滑动；导向组件设置于安装板上，用于引导导杆沿竖直方向滑动；弹性组件套设于导杆的外侧，并且位于安装板及密封盘之间，弹性组件用于缓冲支撑臂向密封盘施加的压紧力。本申请实施例能够保证密封盘受力时不发生偏斜，从而使得密封盘对工艺腔室的密封效果较佳，而且提高了工艺门及工艺腔室的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 缓冲 机构 立式 及其 工艺 | ||
【主权项】：
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