[发明专利]用于移除硬遮罩的钨相容性清洗液、其制备方法及应用在审
| 申请号： | 202010208618.2 | 申请日： | 2020-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113430060A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 王溯;蒋闯;徐锦波 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/72 | 分类号： | C11D1/72;C11D3/39;C11D3/28;C11D3/04;C11D3/33;C11D3/20;C11D3/30;C11D3/60;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 王卫彬;陈卓 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于移除硬遮罩的钨相容性清洗液、其制备方法及应用。本发明提供一种清洗液，其由下述原料制得，所述的原料包括以下质量分数的组分：0.5％‑20％的氧化剂、0.01％‑30％的氧化剂稳定剂、0.1％‑20％的氟化物、0.1％‑20％的有机碱、0.001％‑10％的螯合剂、0.001％‑10％的缓蚀剂、0.01％‑15％的羧酸铵、0.001％‑1.5％的表面活性剂、0.001％‑2.5％的钝化剂和余量的水，所述的质量分数为各组分质量占原料总质量的百分比；其中，所述的表面活性剂为EO‑PO聚合物L42。该清洗液可选择性移除硬遮罩和其它残留物，对钨及多种金属及电介质相容性强，清洗效果佳。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 硬遮罩 相容性 清洗 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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