[发明专利]电熔丝结构及其形成方法在审
| 申请号： | 202010211812.6 | 申请日： | 2020-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN113451263A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 李晓华 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525;H01L21/768 |
| 代理公司： | 上海德禾翰通律师事务所 31319 | 代理人： | 侯莉 |
| 地址： | 518118 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种电熔丝结构及其形成方法，所述电熔丝结构包括一种电熔丝结构，所述电熔丝结构包括：熔丝链，包括熔断区和沿熔断区延伸方向位于熔断区两侧的电极区；分别与所述电极区连接的多个分立的插塞，各插塞在熔断区的宽度方向上的尺寸大于所述电极区在熔断区的宽度方向上的尺寸。上述的方案，可以提升电熔丝结构的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 电熔丝 结构 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
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