[发明专利]一种高效单晶硅PERC太阳能电池的制备方法在审
| 申请号： | 202010213511.7 | 申请日： | 2020-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN111403551A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 邵家骏;张小明;林纲正;陈刚 | 申请（专利权）人： | 浙江爱旭太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/02;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 金华智芽专利代理事务所(普通合伙) 33307 | 代理人： | 陈迪 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高效单晶硅PERC太阳能电池的制备方法。它包括如下步骤：S1：制绒；S2：扩散；S3：刻蚀；S4：退火；S5：正面印刷掩膜材料，固化；S6：正面SiNx沉积；S7：去除掩膜材料；S8：背面Al2O3/SiNx沉积；S9：背面激光开槽；S10：背电极、背电场印刷烧结；S11：TCO沉积；S12：正面印刷Ag主栅，低温烧结。本发明采用掩膜法制备透明导电薄膜材料来收集传输载流子，替代常规的副栅线，本发明可以大大减少正面Ag栅线的遮光面积，从而大大增加了光的利用率，且减少了载流子传输的串阻，有利于提高PERC太阳能电池的转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 单晶硅 perc 太阳能电池 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
