[发明专利]电镜样品前处理设备在审
| 申请号： | 202010213542.2 | 申请日： | 2020-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN111272792A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 张小波;常正凯;张增雄 | 申请（专利权）人： | 深圳市速普仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2202 | 分类号： | G01N23/2202;G01N23/2005;G01N1/34 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 陈秀丽 |
| 地址： | 518051 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电镜样品前处理设备，包括处理箱、射频离子源、气路系统及真空泵组；处理箱内设有样品腔室；射频离子源连接处理箱并与样品腔室连通；气路系统连接射频离子源，气路系统为射频离子源提供所需的气源；真空泵组连接处理箱并与样品腔室连通，真空泵组用于对样品腔室及射频离子源抽真空。可以在同一个样品腔室同时清洗扫描电子显微镜样品和透射电子显微镜样品，也可以分别独立清洗扫描电子显微镜样品或透射电子显微镜样品，通用性强，有效降低成本；通过射频离子源处理待透射电镜观察并需要亲水性制备的透射电镜样品，实现对透射电镜样品亲水活化无损处理；实现对电镜样品进行真空储存，有效保证电镜样品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 处理 设备 | ||
【主权项】：
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