[发明专利]一种磁性薄膜环形电感器的制作方法在审
| 申请号： | 202010216035.4 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN111403168A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 孙科;郑璐;刘海;余忠;邬传健;蒋晓娜;兰中文 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01F41/04 | 分类号： | H01F41/04;H01F41/18;H01F41/22;H01F41/00 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种磁性薄膜环形电感器的制作方法，属于电感器制作技术领域。首先，在基片上制作下层线圈；然后，采用旋转喷涂法制备磁芯薄膜；最后，在得到的磁芯薄膜上制作上层线圈，即可得到环形电感器。本发明提供了一种磁性薄膜环形电感器的制作方法，采用高频软磁各向同性薄膜作为磁芯薄膜，并采用旋转喷涂法制备磁芯薄膜，在空气中90℃即可完成晶化，一方面，生产能耗低，采用低温沉积技术即可完成磁芯薄膜的制备，对环境及设备要求低，可实现大规模生产；另一方面，该方法得到的环形电感器同时具有高电感密度、高工作频率和高品质因数，并且还能实现与半导体工艺的兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁性 薄膜 环形 电感器 制作方法 | ||
【主权项】：
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