[发明专利]卤素灯的检测方法、装置及设备有效
| 申请号： | 202010220097.2 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN111443300B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 陈路路 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/44 | 分类号： | G01R31/44;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 姚琳洁;朱文杰 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种卤素灯的检测方法、装置及设备，用以解决无法对卤素灯损坏进行预警的问题。所述方法包括：在卤素灯处于加热状态时，获取所述卤素灯的灯管参数信息；所述灯管参数信息包括灯管功率和灯管阻抗；判断所述灯管功率是否位于预设功率范围内；若所述灯管功率位于所述预设功率范围内，则判断所述灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值；若所述灯管阻抗低于所述预设阻抗阈值，则发出第一预警信息；所述第一预警信息用于提示所述卤素灯具有损坏风险。该技术方案实现了对具有损坏风险的卤素灯的预警效果，避免了卤素灯损坏后对设备的周围部件造成影响的情况，从而降低对设备的异常维护频率，提高设备的竞争力。 | ||
| 搜索关键词： | 卤素灯 检测 方法 装置 设备 | ||
【主权项】：
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