[发明专利]一种镀膜系统及镀膜方法在审
| 申请号： | 202010220133.5 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN111321387A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 产桂方 | 申请（专利权）人： | 枣庄维信诺电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 宋傲男 |
| 地址： | 277000 山东省枣*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜系统及镀膜方法，该镀膜系统包括：载入腔，用于载入基材；传送腔，直接连接至载入腔，并且配置成接收并传送基材；至少一个镀膜腔，镀膜腔直接连接至传送腔，并且配置成从传送腔接收基材并利用镀膜工艺将膜层形成在基材上；载出腔，直接连接至传送腔，并且配置成从传送腔接收并载出基材；其中，利用镀膜工艺在基材上形成第一层膜层的镀膜腔中设置有预热装置。本发明通过在形成第一层膜层的镀膜腔中设置预热装置，可以实现对基材的预热，从而达到降低设备成本的目的。进一步地，当镀膜腔的数量为两个以上，可以充分利用第一镀膜腔的闲置时间，达到提高镀膜效率的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 系统 方法 | ||
【主权项】：
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