[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 202010220543.X | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN111751575A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 泷泽照夫;田中悟;纸透真一 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有：基板；可动体，相对于所述基板绕所述摆动轴摆动；检测电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述可动体重叠；虚设电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述可动体重叠，与所述可动体同电位；以及突起，设置于所述基板，在俯视观察下与所述第一可动部重叠，在所述可动体侧突出并限制所述可动体的绕所述摆动轴的位移，所述虚设电极位于所述突起与所述检测电极之间并且被设置为包围所述突起的周围的至少一部分，所述突起的与所述可动体的接触部分由绝缘材料构成。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性 传感器 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
暂无信息
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