[发明专利]一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统在审
申请号: | 202010222056.7 | 申请日: | 2020-03-26 |
公开(公告)号: | CN113447123A | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 叶鑫;唐烽;李波;郑万国;吴卫东;杨李茗;李青芝;邵婷;邓青华;黄进;黎维华;吴之清;石兆华;周晓燕;孙来喜 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28 |
代理公司: | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人: | 冯静 |
地址: | 621999 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统,涉及光谱测量领域,主要技术问题是解决当前光谱仪尺寸大、重量重、不易于集成的问题。该系统包括超表面分光子系统、消色差成像子系统和面阵探测器;面阵探测器上设置有消色差成像子系统,消色差成像子系统上设置有超表面分光子系统;超表面分光子系统包括基底和设置于基底上且连续排列的超原子;超表面分光子系统分为N×M个区域,每个区域包含多个且相同的超原子;每一个区域对应一个谐波波长。本发明具有高集成化、高可靠性、与半导体工艺兼容等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 连续 分布 集成 表面 微型 光谱 传感 系统 | ||
【主权项】:
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