[发明专利]一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统在审

专利信息
申请号: 202010222056.7 申请日: 2020-03-26
公开(公告)号: CN113447123A 公开(公告)日: 2021-09-28
发明(设计)人: 叶鑫;唐烽;李波;郑万国;吴卫东;杨李茗;李青芝;邵婷;邓青华;黄进;黎维华;吴之清;石兆华;周晓燕;孙来喜 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: G01J3/28 分类号: G01J3/28
代理公司: 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 代理人: 冯静
地址: 621999 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统,涉及光谱测量领域,主要技术问题是解决当前光谱仪尺寸大、重量重、不易于集成的问题。该系统包括超表面分光子系统、消色差成像子系统和面阵探测器;面阵探测器上设置有消色差成像子系统,消色差成像子系统上设置有超表面分光子系统;超表面分光子系统包括基底和设置于基底上且连续排列的超原子;超表面分光子系统分为N×M个区域,每个区域包含多个且相同的超原子;每一个区域对应一个谐波波长。本发明具有高集成化、高可靠性、与半导体工艺兼容等优点。
搜索关键词: 一种 连续 分布 集成 表面 微型 光谱 传感 系统
【主权项】:
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