[发明专利]一种集成镀膜设备的样品传输装置在审
| 申请号： | 202010222105.7 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN113445015A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 杨胜;夏洋;卢维尔;刘涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50;C23C16/54;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成镀膜设备的样品传输装置，所述样品传输装置包括：底座；气缸，固定在所述底座上；固定架，固定在所述气缸的上端，随着所述气缸的伸缩，所述固定架沿竖直方向上下移动；旋转电机，固定在所述固定架上；转轴，所述转轴的一端固定设置在所述旋转电机的输出端；真空腔室，所述底座固定在所述真空腔室的底部，所述转轴穿过所述真空腔室的底部；旋转托盘，固定在所述转轴的另一端设置，且位于在所述真空腔室内；控制单元，与所述气缸、所述旋转电机电连接。解决了现有技术中集成镀膜设备中样片的传输依靠机械手，结构复杂、价格昂贵、传输速度慢的技术问题，达到了样片在集成镀膜装备中的快速、稳定传输，结构简单，成本低的到技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 镀膜 设备 样品 传输 装置 | ||
【主权项】：
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