[发明专利]一种金刚线切割液及其制备方法有效
| 申请号： | 202010223374.5 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN111303981B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 张小飞 | 申请（专利权）人： | 常州高特新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02;C10N40/22;C10N30/04;C10N30/06 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 谢新萍 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于硅晶体切割技术领域，具体涉及一种金刚线切割液及其制备方法。该金刚线切割液由极压剂、表面活性剂、消泡剂、润滑剂、耦合剂、去离子水组成。切割液中加入复配的表面活性剂，提高了切割液的润滑性以及渗透力，使得切割液可渗入线网与硅片、线网与碎屑之间，形成一层润滑膜，减小了切割损伤、应力和微裂，并能提高切割的冷却效果。切割液对硅粉的分散性较好，可使颗粒分散开来，防止颗粒聚粘，避免了划伤。切割液能够有效清洗掉切割过程产生的大量碎屑和硅粉，并防止形成粘附，降低切割精度，造成切割线磨损。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚 切割 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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