[发明专利]一种大小可调的组合式坩埚热场在审
| 申请号： | 202010223802.4 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN111349966A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 赵丽丽;张胜涛;袁文博;范国峰 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 桑林艳 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大小可调的组合式坩埚热场，属于熔炼设备技术领域，是针对现有坩埚无法适应籽晶尺寸的变化，热场不能调整的缺陷所提出，其包括：坩埚上盖、组合式坩埚筒、侧支撑组件和坩埚底，组合式坩埚筒为两端开口的筒体，组合式坩埚筒的底部安装在坩埚底上，坩埚上盖盖合在组合式坩埚筒的顶部开口上，安装后使组合式坩埚筒内形成封闭腔室，侧支撑组件通过螺纹安装在组合式坩埚筒的内壁上，且侧支撑组件位于组合式坩埚筒内壁上的高度可调，在侧支撑组件的中心位置上设有中心通孔，籽晶安装在中心通孔处。本发明的坩埚为模块化结构，可根据实际需要组合调整，实现不同尺寸籽晶的单晶生长，坩埚高度可调，可实现不同长径比的热场。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大小 可调 组合式 坩埚 | ||
【主权项】：
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