[发明专利]一种薄片载台装夹机构在审
申请号: | 202010224179.4 | 申请日: | 2020-03-26 |
公开(公告)号: | CN111230826A | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 陈栋;张政;郭云飞;黄勇;衡潘 | 申请(专利权)人: | 上海微纳国际贸易有限公司 |
主分类号: | B25H3/00 | 分类号: | B25H3/00 |
代理公司: | 上海怡恩专利代理事务所(普通合伙) 31336 | 代理人: | 牟俊玲 |
地址: | 201100 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种薄片载台装夹机构,属于扫描电镜、透射电镜、半导体真空配件技术领域。它包括弹簧、左夹紧块、铜网、右夹紧块、定位板、滚花螺丝,所述左夹紧块和右夹紧块镶嵌配合,所述左夹紧块的外侧壁和右夹紧块的外侧壁上均设有用于定位弹簧的圆弧槽,所述弹簧分别固定在两个圆弧槽上。本发明可以满足应用于电镜行业铜网存放的要求,第一,可以有效避免样品的污染,增加了实验的可靠性;第二,这种平面夹紧机构,能够很好的保证载网的平整性,会延长载网的使用寿命;第三,还提供了液氮凹槽,能够快速的提供低温环境,大大提高了实验效率。第四,整个机构操作非常简单。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄片 载台装夹 机构 | ||
【主权项】:
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