[发明专利]一种用于微纳力测量的力源装置及其实现方法有效
| 申请号： | 202010226605.8 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN111220309B | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 徐立;王淑香;郑培亮;李闯;李倩;童军杰 | 申请（专利权）人： | 广东省计量科学研究院（华南国家计量测试中心） |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00;G01L25/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郭浩辉;麦小婵 |
| 地址： | 510000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于微纳力测量的力源装置及其实现方法，所述装置包括上基板、下基板、微纳力源阵列、弹性支撑结构、以及输出所述微纳力源阵列产生的标准微纳力值的输出探针；所述上基板通过所述弹性支撑结构与所述下基板连接，所述微纳力源阵列布设于所述上基板与所述下基板之间；所述微纳力源阵列包括若干个阵列模块，每一所述阵列模块由一组叉指电容构成，每一组所述叉指电容设于所述上基板与所述下基板之间；且每一所述阵列模块分别与电源相连接。本发明通过改进传统电容式微纳力源装置的结构，能够实现在低电压下输出宽量程、高精度微纳力值的力源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 微纳力 测量 装置 及其 实现 方法 | ||
【主权项】：
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