[发明专利]一种间接驱动金腔靶及其制造方法有效
申请号: | 202010228218.8 | 申请日: | 2020-03-27 |
公开(公告)号: | CN111421301B | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 叶君建;贾果;谢志勇;涂昱淳;舒桦;方智恒;董佳钦;王伟;张帆;贺芝宇;吴江;黄秀光;裴文兵;傅思祖 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所 |
主分类号: | B23P15/00 | 分类号: | B23P15/00 |
代理公司: | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人: | 孙金金;周涛 |
地址: | 201899 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种间接驱动金腔靶及其制造方法,所述间接驱动金腔靶包括入射窗口、金腔体、支撑垫片及固定靶,所述入射窗口为圆形结构,其中心开设有入射孔,所述金腔体为圆柱体结构,所述金腔体的内部开设有与金腔体同心的且贯穿金腔体两端的空腔,所述空腔包括上端圆孔、圆锥孔及下端圆孔,所述圆锥孔连接上端圆孔与下端圆孔,所述固定靶为多层圆形结构,所述入射窗口设置于金腔体的一侧,所述固定靶设置于金腔体的另一侧,所述支撑垫片固定于金腔体的外部。本发明在制作金腔体时,采用先切割厚度,再加工同心圆的方式,切割精度高,加工同心圆时,在操作显微镜的观察下采用三段式钻头一次加工成型,保证了钻孔的精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 间接 驱动 金腔靶 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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