[发明专利]三维衬底的涂层

摘要

本发明涉及三维衬底的涂层。衬底处理装置包括：反应室、通向反应室的至少一个涂层材料入口、用以支撑待涂覆的3D衬底的可动衬底支撑件以及致动器，该致动器被配置为在衬底处理期间使衬底支撑件运动，以改变所述3D衬底的取向。一种用于涂覆3D衬底的方法，该方法包括：在反应室内在衬底支撑件上提供3D衬底，将至少一个涂层材料馈送到反应室中；以及在衬底处理期间，通过致动衬底支撑件的运动来改变所述3D衬底的取向。