[发明专利]全自动刮边机有效
| 申请号： | 202010231999.6 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN111408990B | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 薛小宾 | 申请（专利权）人： | 深圳市赛平精密技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B41/02;B24B41/00;B24B55/00;B24B41/06;B24B49/12;B24B51/00;B24B55/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市宏德雨知识产权代理事务所(普通合伙) 44526 | 代理人： | 李捷 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种全自动刮边机，其包括基座箱，在基座箱的设置平台上设置有治具机构、对中机构、输送机构、处理机构、调度机构以及控制系统。通过治具机构放置晶圆片，组装机械手输送晶圆片；对中装置将晶圆片上料到输送机构的承载台上并对中，输送机构中放置晶圆片的承载台沿第一X轴运行平台滑动。在晶圆片刮边处理时，通过处理机构的扫描装置对承载台上的晶圆片进行扫描并确定其位置信息，控制系统根据扫描装置反馈的晶圆片位置信息，控制处理机构的刮边装置根据晶圆片的周边轮廓对晶圆片进行刮边加工。本发明提供的全自动刮边机能精准的完成晶圆片的打磨刮边，大大的提高了晶圆片刮边处理的良率和效率，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 全自动 刮边机 | ||
【主权项】：
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