[发明专利]晶体原料盛载装置及晶体生长装置有效
申请号: | 202010235219.5 | 申请日: | 2020-03-30 |
公开(公告)号: | CN111349971B | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 陈泽斌;王旻峰;廖弘基;陈华荣 | 申请(专利权)人: | 福建北电新材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/36;C30B23/00 |
代理公司: | 北京超成律师事务所 11646 | 代理人: | 陈治位 |
地址: | 362200 福建省泉州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明提供了一种晶体原料盛载装置及晶体生长装置,涉及晶体生长设备的技术领域,晶体原料盛载装置包括依次水平相邻紧靠设置的多个承载单元,多个承载单元中包括对应于远离籽晶承载装置上的籽晶的小平面的一端设置的第一承载单元;沿远离籽晶的小平面的一端向靠近籽晶的小平面的一端的方向,从第一承载单元至位于第一承载单元靠近籽晶的小平面的一侧的承载单元,每个承载单元能够承载的原料的高度依次降低;本发明能够降低小平面位置的多型转变几率,提高晶体良率。 | ||
搜索关键词: | 晶体 原料 装置 晶体生长 | ||
【主权项】:
暂无信息
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