[发明专利]无缺陷高纯镍钒靶坯的制备方法及利用其制备得到的靶材在审

专利信息
申请号: 202010237387.8 申请日: 2020-03-30
公开(公告)号: CN111304606A 公开(公告)日: 2020-06-19
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;黄东长 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/35;C22F1/10;C22C19/03
代理公司: 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 代理人: 王岩
地址: 315400 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及无缺陷高纯镍钒靶坯的制备方法及利用其制备得到的靶材,所述方法包括如下步骤:(1)将高纯镍钒铸锭进行热等静压处理,然后进行锻造,得到锻造铸锭;(2)将步骤(1)得到的锻造铸锭依次进行第一退火、轧制‑回炉加热及第二退火,得到无缺陷高纯镍钒靶坯。本发明中,通过利用热等静压处理、锻造、退火及轧制等工艺的协同耦合效果,使得所得坯内部结构均匀、晶粒细小,内部无缺陷,符合半导体用的镍钒靶坯。
搜索关键词: 缺陷 高纯 镍钒靶坯 制备 方法 利用 得到
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司,未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010237387.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top