[发明专利]气体放电光源中的气体优化有效
| 申请号： | 202010237543.0 | 申请日： | 2017-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN111262117B | 公开（公告）日： | 2023-05-19 |
| 发明（设计）人： | T·阿加沃尔 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/036 | 分类号： | H01S3/036;H01S3/038;H01S3/08;H01S3/097;H01S3/0971;H01S3/104;H01S3/13;H01S3/134;H01S3/225;H01S3/23 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吕世磊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 通过在一组极端测试条件下操作光源的同时估计光源的操作参数的多个极值来调节光源的一个或多个操作特性。对于每个极端测试条件，在极端测试条件下操作第一气体放电室的同时向光源的第一气体放电室提供一组能量脉冲，以产生第一脉冲放大光束；在极端测试条件下操作第二气体放电室的同时向光源的第二气体放电室提供一组能量脉冲，以产生第二脉冲放大光束。测量极端测试条件下的操作参数的极值，由此估计操作参数的极值。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 放电 光源 中的 优化 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西默有限公司，未经西默有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010237543.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种铜管预塑形模具及预塑形方法
- 下一篇：静电释放测试的提示方法及装置
