[发明专利]掩膜外框和掩膜组件有效
| 申请号： | 202010238341.8 | 申请日： | 2020-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN111254388B | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 赵坤;古春笑;杨硕;丁敏 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 范坤坤 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜外框和掩膜组件。掩膜外框，包括主框体和至少两个热膨胀部；主框体围合形成蒸镀区域；至少两个热膨胀部，设置于主框体上且将主框体至少划分为第一框体和第二框体，热膨胀部的热膨胀系数大于主框体的热膨胀系数，用于在受热膨胀时使第一框体相对于第二框体向远离第二框体的方向移动。本发明实施例的技术方案，减少了高温蒸镀过程中掩膜部的下垂量，降低了掩膜部的像素位置精度的偏差，提升OLED的蒸镀精度及显示效果。另外，本实施例的技术方案无需对掩膜部进行加工改进，掩膜外框能够适用于多种掩膜部，在改善掩膜部下垂现象的同时，降低了蒸镀工艺的制造成本，提升了掩膜组件使用的便利性。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜外框 组件 | ||
【主权项】：
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