[发明专利]碳化硅陶瓷吸盘及其制备方法在审
| 申请号： | 202010240785.5 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111393180A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 刘海林;贾志辉;黄小婷;胡传奇;李荟 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
| 主分类号： | C04B38/06 | 分类号： | C04B38/06;C04B35/565;C04B35/622;C04B35/624;C04B35/63;C04B35/634 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 张晓萍;刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种碳化硅陶瓷吸盘及其制备方法，该碳化硅陶瓷吸盘包括吸盘本体和与所述吸盘本体连接的吸盘底座，所述吸盘底座具有气体通道和抽气接口，所述吸盘本体的材质为多孔碳化硅陶瓷，所述吸盘底座的材质为致密碳化硅陶瓷；所述吸盘本体与所述吸盘底座通过有机粘结剂或者高温无机粘结剂粘结在一起。本发明通过采用凝胶注模法来制备多孔碳化硅陶瓷吸盘本体和致密碳化硅陶瓷吸盘底座，通过粘结或高温烧结工艺将两者复合得到碳化硅陶瓷吸盘。采用碳化硅材料制备的陶瓷吸盘具有超高的平面度(可达1微米)、不易变形，耐高温、耐酸碱腐蚀性能好等特点，可以满足集成电路制造装备高精度的使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 陶瓷 吸盘 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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