[发明专利]单晶硅棒测量模块及其晶体生长系统在审
| 申请号： | 202010242876.2 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111366113A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 姚自峰 | 申请（专利权）人： | 陕西梵翌琨机电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00;C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 曾庆喜 |
| 地址： | 712000 陕西省西安市西咸新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开的单晶硅棒测量模块，包括设置在牵引室外壁上的纵向导轨二，导轨二上配合设置有底端可运动至牵引室下方的移动元件二，移动元件二的底端连接有与牵引室同轴的环形扫描元件，移动元件二上连接有位于牵引室外壁上的动力元件三。本发明还公开了具有单晶硅棒测量模块的晶体生长系统。本发明的单晶硅棒测量模块解决了现有单晶硅棒冷却后测量过程中复杂的人工操作带来的精度差及耗时的问题；本发明具有单晶硅棒测量模块的晶体生长系统，还通过单晶硅棒下降保护组件提升了单晶硅棒下降过程中的安全性。在解决的基本问题的基础上，扩展了测试的参数，提升了数据量，保证了安全性更便于后期通过测量结果反馈调节生产环节的设备和工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 测量 模块 及其 晶体生长 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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