[发明专利]单晶炉及采用其进行单晶硅棒测量的方法有效
| 申请号： | 202010243723.X | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111411390B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 姚自峰 | 申请（专利权）人： | 陕西梵翌琨机电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06;G01B21/00;G01B21/20 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 曾庆喜 |
| 地址： | 712000 陕西省西安市西咸新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开的单晶炉，包括牵引室，牵引室的外壁上设置有单晶硅棒测量组件和单晶硅棒转移保护组件，单晶硅棒测量组件包括位于牵引室外壁的纵向导轨，导轨上配合设置有底端可运动至牵引室下方的移动元件，移动元件的底端连接有与牵引室同轴的环形扫描元件，移动元件上连接有位于牵引室外壁上的动力元件二；单晶硅棒转移保护组件包括沿牵引室径向与其外壁依次连接的转轴和动力元件一，转轴上连接有可旋转至牵引室下方的定位元件。本发明还公开了采用上述单晶炉进行单晶硅棒测量的方法。本发明的单晶炉及采用其进行单晶硅棒测量的方法，解决了现有单晶硅棒冷却后测量过程中复杂的人工操作带来的精度差、效率低及单晶硅棒转移过程中安全性差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 采用 进行 单晶硅 测量 方法 | ||
【主权项】：
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