[发明专利]一种薄膜压电声波滤波器及其制造方法在审
| 申请号： | 202010243957.4 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN112039485A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 黄河 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜压电声波滤波器及其制造方法，其中薄膜压电声波滤波器的制造方法包括：提供第一基板，在第一基板上形成压电叠层结构，压电叠层结构包括依次形成在第一基板上的第一电极、压电层和第二电极；图形化压电叠层结构，形成多个有效谐振区，有效谐振区内的第一电极、压电层、第二电极在垂直于压电层方向上相互叠置；在每一有效谐振区的上方形成第一牺牲层，使第一牺牲层的边界遮盖有效谐振区的边界，且相邻第一牺牲层之间相互隔离；形成第一介质层，覆盖第一牺牲层及第一牺牲层之间相互隔离的区域；提供第二基板，将第二基板键合在第一介质层的上表面；去除第一基板；去除第一牺牲层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 压电 声波 滤波器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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