[发明专利]一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202010245239.0 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111286703B | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 王传军;闻明;谭志龙;沈月;许彦亭;管伟明;郭俊梅;陈家林 | 申请（专利权）人： | 贵研铂业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C19/03;C22C1/02;B22D27/08;C22F1/10 |
| 代理公司： | 昆明知道专利事务所(特殊普通合伙企业) 53116 | 代理人： | 蒋明;姜开远 |
| 地址： | 650000 云南省昆明市*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法，所述镍铂合金溅射靶材中铂的含量为21～31%原子百分比，镍铂溅射靶材溅射面的（111）面的取向率大于30%，（200）面的取向率小于（111）面且大于20%。所述制备方法包括以下步骤：以4N5镍和铂为原料，配制成铂的含量为21～31%的合金，将合金放入熔炼炉中进行熔炼，待原料熔化后置于浇铸模具中进行浇铸获得铸锭；再将铸锭采用温轧轧制形成坯料后再结晶退火，最后加工成型获得靶材。本发明制备获得了成品率高，稳定性好的含铂为21～31原子%的NiPt合金溅射靶材，通过控制晶粒取向改善了靶材的成膜速率和薄膜性能稳定性，获得了沉积速率和膜厚均匀性较好的NiPt薄膜，大大提高了生产效率，极大节约了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 溅射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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