[发明专利]一种兰姆波谐振器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010245302.0 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111431501B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;郑鹏程;张师斌;周鸿燕;黄凯 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08;H03H9/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种兰姆波谐振器及其制备方法，该兰姆波谐振器包括支撑衬底、反射层、第一压电膜、第二压电膜和电极层；支撑衬底、反射层、第一压电膜、第二压电膜和电极层依次层叠连接；第一压电膜和第二压电膜配合能够消除或减小激发高阶兰姆波不需要的压电系数。本申请实施例提供的兰姆波谐振器通过设置两层不同晶体取向的压电膜，在一定范围内定量调控压电材料的弹性常数和压电常数，减小与低阶模的激发相关的压电常数，从而在保证高阶模的谐振频率和机电耦合系数的同时，使得低阶模被有效抑制，避免了在高阶模兰姆波滤波器的通带外存在其它低阶模所引起的不必要的通带。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 兰姆波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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