[发明专利]薄膜晶体管及其制备方法、显示用基板及显示装置在审

专利信息
申请号: 202010246438.3 申请日: 2020-03-31
公开(公告)号: CN111403488A 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 刘宁;王庆贺;宋威;戴修文;潘洋;周斌 申请(专利权)人: 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786;H01L29/423;H01L29/49;H01L21/336;H01L21/34;H01L27/12;H01L27/32;G02F1/1368
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 申健
地址: 230012 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明实施例提供一种薄膜晶体管及其制备方法、显示用基板、显示装置,涉及显示技术领域,可以解决栅极向有源层施加电压的有效区域较小的问题,该薄膜晶体管包括衬底;设置在衬底上的有源层;设置在有源层上的栅绝缘图案,栅绝缘图案在衬底上的正投影与沟道区在衬底上的正投影重合;以及设置在栅绝缘图案上的第一栅极和第二栅极,第一栅极和第二栅极电连接,第一栅极的材料包含金属原子,第二栅极的材料不包含所述金属原子;第二栅极相对于第一栅极靠近栅绝缘图案;第一栅极在衬底上的正投影位于第二栅极在衬底上的正投影以内,且第一栅极在衬底上的正投影的面积小于第二栅极在衬底上的正投影的面积。
搜索关键词: 薄膜晶体管 及其 制备 方法 显示 用基板 显示装置
【主权项】:
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