[发明专利]集成电光调制器

摘要

本发明公开一种集成电光调制器，包括层叠设置的SiO2层和Si层，Si层上设有第一、第二硅波导相移臂，SiO2层内设有PLC波导分路器、合路器；PLC波导分路器的两路分支基于倏逝波耦合分别与第一、第二硅波导相移臂光路连通；PLC波导合路器的两路分支基于倏逝波耦合分别与第一、第二硅波导相移臂光路连通。本发明的集成电光调制器，使用PLC波导分路器/合路器与硅波导相移臂配合实现电光调制，不仅利用硅波导相移臂实现了高速率电光调制，而且利用PLC波导器件与单模光纤模场匹配的特性实现了调制器与光纤的低损耗直接耦合。解决传统硅基电光调制由于硅波导与单模光纤模场失配大，需要设置复杂结构的模斑转换器或垂直耦合光栅来实现光纤耦合而且耦合损耗较大的问题。